MEMSスキャナ検査
光MEMSスキャナ検査システム
光MEMSデバイス単体の性能評価装置、振り角、共振周波数、ジッタ、ウォブル
MEMSスキャナ計測システム 【ALT-9A44】
| 駆動周波数 | 100Hz～10kHz |
|---|---|
| ミラーサイズ | 1.2×1.2mm以上 |
| 測定ビーム速度 | 4000mm/s以下 |
| ウォブル測定範囲 | 30分 |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
| 他測定 | 最大振角、共振周波数、温度 |
光MEMSデバイス耐久試験システム
光MEMSデバイス長時間動作による性能変化の計測、1台から数十台の耐久試験対応可能。
光MEMSデバイス耐久試験システム
| 対象MEMS | 主軸共振40kHz、副軸非共振60Hz |
|---|---|
| 振り角測定範囲 | ±6～±30°（光学角）主軸、副軸 |
| 振り角分解能 | 0.2度以下 |
| 駆動周波数分解能 | 0.1Hz |
| 駆動電圧分解能 | 0.1V |
光MEMSデバイス環境試験システム
光MEMSデバイスの周囲温度変動による性能変化の計測、-40℃～150℃対応可能
光MEMSデバイス耐久試験システム
| 温度 | -40℃～100℃ |
|---|---|
| 結露防止 | 窒素ガス封入簡易チャンバー |
| 温調 | カスケード接続ペルチェ素子、チーラー |
| バーイン | 室温～200° |
| 制御 | ヒータPID制御 |
| 圧力 | 10～100Pa |
| 構成 | 小型チャンバー、真空ポンプ |
光MEMS2次元スキャンユニット検査システム
スキャンデバイスの応用ユニットの検査システム、光MEMSミラー、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、その他
光MEMS2次元スキャンユニット検査システム
| ビーム径 | 0.1～3mm 分解能5μm |
|---|---|
| ポインタビリティ | 0.1～3mm 分解能5μm |
| レーザパワー、諧調 | 1～100mW 分解能0.1mW |
| 画像サイズ、歪み | 分解能5μm |
| スキャン周波数 | 0.0001% |
| 他測定 | 主軸1～50KHz、副軸10～100Hz |
スキャナ応用製品検査評価システム
レーザースキャンデバイス応用製品の検査評価装置