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MEMSスキャナは、MEMS（※）技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。
動作として共振と非共振があり共振は振れ角が大きく取れます。非共振は任意の場所でミラーを止めることができます。振角はミラーの傾き角度（機械角）と光の曲げられる角度（光学角）の両方で表現される場合があります。光学角は機械角の倍です。お見積は見積フォーマットに仕様を記入してお問い合わせください。

※MEMS：Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム

8mm×8mmのICチップ型の2次元両共振MEMSスキャナ（OPUS社製）

最新情報は以下のサイトでご確認下さい。

http://www.opusmicro.com/products.html

多面体ミラーを回転してスキャン。デジタル複写機等のレーザー書き込み系に使用

光学振角は1回転の角度を面数で割った倍となり、6面ですと120度になります。ミラーの大きさと厚さは走査するビームの大きさで決まります。ミラーが大きくなると風損などで回転数が制限されますし、回転数によって軸受の種類が変わります。1面でプリズムなどで回すものはモノゴンスキャナと呼ばれて306度スキャンできます。お見積は見積フォーマットに仕様を記入してお問い合わせください。

1面ミラーを電磁力で回転させてレーザー光を走査するスキャン。レーザーマーキングや各種レーザー加工

任意の場所に高精度に止めることができます。使用周囲温度でのドリフトの少ないデジタルガルバノスキャナもあります。ミラーサイズが大きくなるとイナーシャーが大きくなり高速動作ができなくなります。使用波長、パワーによってミラーの材質やコーティングを選択する必要があります。

1面ミラーを共振させることによりレーザをスキャン。共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用

機械共振を利用しますので周波数、振角とミラーサイズが関係します。画像用で高速スキャンできるものや特殊な構造で振角が180度まで振れるものもあります。

オフセット印刷ダイレクト版下作成、液体内異物検出、シート汚れ、ピンホール検出、プラスチック分光分析、高速3次元計測、シート厚さ連続計測

LSU(Laser scanning unit）はレーザー光源、光学スキャナ、投光光学系、走査同期センサを組合せたユニットです。ポリゴンスキャナを用いたものでは高速にスキャンできることでレーザービームの走査速度は秒速で3Kmに達することもでき、高速のフィルム製造ラインで汚れ、ピンホールの検査に用いられています。レーザーのスポットサイズは2400dpi（1インチに2400ドット）では10μmになり、高精細印刷の版下にも用いられています。外観検査ではCCDカメラが苦手とする光沢表面上での欠陥や、素材と同色の異物なども高速に検出することができます。車のヘッドライトではADB（Adaptive Driving Beam：配光可変ヘッドランプ）というハイビームのヘッドライトで対向車や歩行者の部分だけマスクすることが研究開発されていますが、2軸のスキャンミラーを用いたLSUも試作されています。

ビームスキャン用レンズ