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MEMSスキャナ（光MEMS）

MEMSスキャナ（光MEMS）

MEMSスキャナは、MEMS（※）技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。

※MEMS：Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム

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MEMSスキャナ（光MEMS） 各種

※各種仕様がございますので、詳細はお問い合わせください。

周波数500 ～ 10,000Hz
ミラーΦ0.5 ～ Φ3mm
振り角0 ～ 60度

2次元MEMSスキャナミラー

2次元MEMSスキャナミラー

8ｍｍ×8ｍｍのICチップ型の2次元MEMSスキャナミラー（OPUS社製）

最新情報は以下のサイトでご確認下さい。

http://www.opusmicro.com/products.html

スキャン速度（高速軸）22kHz
スキャン速度（低速軸）1.4kHz
ミラープレートサイズφ1.0mm
光学スキャナ角度高速軸±20°/低速軸±18°
スキャナ波形 正弦波（高速軸、低速軸）
ジッタ精度0.1％以下
ミラー反射～89％(420nm~670nm)
ミラー精度＜λ/8＠635nm
実用温度0℃～70℃
実用湿度-40％～85％
音響ノイズ30dB以下
駆動方式静電方式
電力消費量40ｍW以下
パッケージサイズ6mmｘ8mm
パッケージPLCC
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ポリゴンスキャナ

ポリゴンスキャナ

多面体ミラーを回転してスキャン。デジタル複写機等のレーザー書き込み系に使用

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ポリゴンスキャナ

面数4～60面
回転数500～70,000rpm
面厚1～100mm
内接円10～150mm
振り角10～100度
ガルバノスキャナ

ガルバノスキャナ

1面ミラーを電磁力で回転させてレーザー光を走査するスキャン。レーザーマーキングや各種レーザー加工

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ガルバノスキャナ

周波数DC～1kHz
ミラーサイズ～Φ50mm
振り角0～120度
レゾナントスキャナ

レゾナントスキャナ

1面ミラーを共振させることによりレーザをスキャン。共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用

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レゾナントスキャナ

周波数100～8,000Hz
ミラーサイズΦ1～Φ20mm
振り角0～180度

LSU（レーザスキャンユニット）

LSU（レーザスキャンユニット）

オフセット印刷ダイレクト版下作成、液体内異物検出、シート汚れ、ピンホール検出、プラスチック分光分析、高速3次元計測、シート厚さ連続計測

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スキャンレンズ

スキャンレンズ

ビームスキャン用レンズ

カタログ
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高精度計測、検査用　テレセントリックfθ　【ALT-ST01】

走査幅100ｍｍ
波長680nm
スポット径60μｍ

高精度計測、検査用　テレセントリックfθ　【ALT-ST20】

走査幅20ｍｍ
波長780nm
スポット径20μｍ

ガルバノスキャナ、レゾナントスキャナ用（高走査効率）　アークサイン　【ALT-SA15】

走査幅150ｍｍ
波長830nｍ
スポット径60μm

広域走査、微小スポット走査fθ　【ALT-SU01】

走査幅10mm
波長532nm
スポット径5μm

広域走査、微小スポット走査fθ　【ALT-SU25】

走査幅254mm
波長670nm
スポット径200μm

広域走査、微小スポット走査fθ　【ALT-SU33】

走査幅300mm
波長670nm
スポット径70μm

広域走査、微小スポット走査fθ　【ALT-SU61A】

走査幅500mm
波長780nm
スポット径40μm