明日を拓くレーザセンサ
認証マーク:ISO9001
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レーザスキャナ

MEMSスキャナ(光MEMS)

MEMSスキャナ(光MEMS)

MEMSスキャナは、MEMS(※)技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。
動作として共振と非共振があり共振は振れ角が大きく取れます。非共振は任意の場所でミラーを止めることができます。振角はミラーの傾き角度(機械角)と光の曲げられる角度(光学角)の両方で表現される場合があります。光学角は機械角の倍です。お見積は見積フォーマットに仕様を記入してお問い合わせください。

※MEMS:Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム

見積フォーマット
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MEMSスキャナ(光MEMS) 各種

1次元共振MEMSスキャナ

周波数500Hz
ミラー2.5×3.0mm
振角光学60度

1次元非共振MEMSスキャナ

周波数DC~100Hz
ミラーΦ2.6mm
振角光学30度

2次元両共振MEMSスキャナ

2次元MEMSスキャナミラー

8mm×8mmのICチップ型の2次元両共振MEMSスキャナ(OPUS社製)

最新情報は以下のサイトでご確認下さい。

http://www.opusmicro.com/products.html

スキャン速度(高速軸)22kHz
スキャン速度(低速軸)1.4kHz
ミラープレートサイズφ1.0mm
光学スキャナ角度高速軸±20°/低速軸±18°
スキャナ波形 正弦波(高速軸、低速軸)
ジッタ精度0.1%以下
ミラー反射~89%(420nm~670nm)
ミラー精度<λ/8@635nm
実用温度0℃~70℃
実用湿度-40%~85%
音響ノイズ30dB以下
駆動方式静電方式
電力消費量40mW以下
パッケージサイズ6mmx8mm
パッケージPLCC
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2次元両非共振MEMSスキャナ

周波数DC~1000Hz
ミラーΦ0.8~5mm
振角光学20度

2次元主走査共振、副走査非共振MEMSスキャナ

主走査周波数27500Hz
副走査周波数DC~20Hz
ミラーΦ1×1.2mm
主走査振角光学48度
副走査振角光学26度
ポリゴンスキャナ

ポリゴンスキャナ

多面体ミラーを回転してスキャン。デジタル複写機等のレーザー書き込み系に使用

光学振角は1回転の角度を面数で割った倍となり、6面ですと120度になります。ミラーの大きさと厚さは走査するビームの大きさで決まります。ミラーが大きくなると風損などで回転数が制限されますし、回転数によって軸受の種類が変わります。1面でプリズムなどで回すものはモノゴンスキャナと呼ばれて306度スキャンできます。お見積は見積フォーマットに仕様を記入してお問い合わせください。

見積フォーマット
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ポリゴンスキャナ

面数4~60面
回転数500~70,000rpm
面厚1~100mm
内接円10~150mm
振り角10~100度
ガルバノスキャナ

ガルバノスキャナ

1面ミラーを電磁力で回転させてレーザー光を走査するスキャン。レーザーマーキングや各種レーザー加工

任意の場所に高精度に止めることができます。使用周囲温度でのドリフトの少ないデジタルガルバノスキャナもあります。ミラーサイズが大きくなるとイナーシャーが大きくなり高速動作ができなくなります。使用波長、パワーによってミラーの材質やコーティングを選択する必要があります。

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ガルバノスキャナ

周波数DC~1kHz
ミラーサイズ~Φ50mm
振り角0~80度
レゾナントスキャナ

レゾナントスキャナ

1面ミラーを共振させることによりレーザをスキャン。共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用

機械共振を利用しますので周波数、振角とミラーサイズが関係します。画像用で高速スキャンできるものや特殊な構造で振角が180度まで振れるものもあります。

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レゾナントスキャナ

周波数100~12,000Hz
ミラーサイズΦ1~Φ20mm
振り角0~180度

レーザースキャニングユニット

LSU(レーザスキャンユニット)

オフセット印刷ダイレクト版下作成、液体内異物検出、シート汚れ、ピンホール検出、プラスチック分光分析、高速3次元計測、シート厚さ連続計測

LSU(Laser scanning unit)はレーザー光源、光学スキャナ、投光光学系、走査同期センサを組合せたユニットです。ポリゴンスキャナを用いたものでは高速にスキャンできることでレーザービームの走査速度は秒速で3Kmに達することもでき、高速のフィルム製造ラインで汚れ、ピンホールの検査に用いられています。レーザーのスポットサイズは2400dpi(1インチに2400ドット)では10μmになり、高精細印刷の版下にも用いられています。外観検査ではCCDカメラが苦手とする光沢表面上での欠陥や、素材と同色の異物なども高速に検出することができます。車のヘッドライトではADB(Adaptive Driving Beam:配光可変ヘッドランプ)というハイビームのヘッドライトで対向車や歩行者の部分だけマスクすることが研究開発されていますが、2軸のスキャンミラーを用いたLSUも試作されています。

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スキャンレンズ

スキャンレンズ

ビームスキャン用レンズ

カタログ
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高精度計測、検査用 テレセントリックfθ 【ALT-ST01】

走査幅100mm
波長680nm
スポット径60μm

高精度計測、検査用 テレセントリックfθ 【ALT-ST20】

走査幅20mm
波長780nm
スポット径20μm

ガルバノスキャナ、レゾナントスキャナ用(高走査効率) アークサイン 【ALT-SA15】

走査幅150mm
波長830nm
スポット径60μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU01】

走査幅10mm
波長532nm
スポット径5μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU25】

走査幅254mm
波長670nm
スポット径200μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU33】

走査幅300mm
波長670nm
スポット径70μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU61A】

走査幅500mm
波長780nm
スポット径40μm