スキャナデバイス検査
光MEMSスキャナ検査システム
光MEMSデバイス単体の性能評価装置、振り角、共振周波数、ジッタ、ウォブル
MEMSスキャナ計測システム 【ALT-9A44】
| 駆動周波数 | 100Hz～10kHz |
|---|---|
| ミラーサイズ | 1.2×1.2mm以上 |
| 測定ビーム速度 | 4000mm/s以下 |
| ウォブル測定範囲 | 30分 |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
| 他測定 | 最大振角、共振周波数、温度 |
ポリゴンミラー検査システム
ポリゴンミラーの性能評価装置。面倒れ、面分割、反射率
ポリゴンミラー総合計測システム
| 面数 | 4～12面 |
|---|---|
| 面倒れ分解能 | 1秒以下 |
| 面分割分解能 | 1秒以下 |
| 反射率 | 波長780,635ｎｍ、P／S／R偏光 |
| 傷、汚れ | CCD画像センサ |
| 回転ステージ | 静圧エアーベアリング |
ポリゴンスキャナ検査システム
ポリゴンミラーの性能評価装置。面倒れ、面分割、反射率
ポリゴンスキャナ総合計測システム
| 測定回転数 | 50,000rpm以下 |
|---|---|
| 面数 | 4～12面 |
| 面倒れ測定範囲 | 3mm |
| 分解能 | 1秒以下 |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
| 電流測定 | 起動電流、定常電流 |
LSU検査システム
レーザスキャンユニットのジッタ、ウォブル、ビーム径、レーザパワーの検査装置
LSU総合計測システム
| 測定ビーム径 | 40～1000μｍ |
|---|---|
| 測定光出力 | 0.1～5ｍＷ |
| 測定回転数 | 50,000rpm以下 |
| ピッチエラー | 3ｍｍ |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
f-θレンズ外観検査システム
f-θレンズの外観検査システムは傷、汚れ、異物、気泡、や成形上の脈理などの検査。
熟練工による目視検査を自動化。検査工程のコストダウンと検査品質の安定化。
f－θレンズ外観検査システム 【ALT-9A19】
| 検査対象 | 傷、異物、気泡、汚れ、脈理 |
|---|---|
| 対象f－θレンズ | A4用f－θレンズ（同等品） |
| 検査分解能 | 30μm |
| 最大検査範囲 | 115mm×4mm |
| 標準検査範囲 | 100mm×2mm（0.1mmピッチ） |
| 標準検査時間 | 約10秒 |
| 使用周囲温度 | 10～40℃ |
ビームディテクトユニット
スキャンビームのタイミング検出センサユニット
| センサ | 2分割フォトIC |
|---|---|
| 受光エリア | 2.4ｍｍ |
| 出力 | 正論理 50オームドライバ BNC端子 |
| 受光パワー | 1mW±50% |
| 電源 | DC5V 100mA以下 |
| センサ移動範囲 | ±5ｍｍ |