明日を拓く光MEMSスキャナ
ISO9001
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レーザスキャナ

MEMSスキャナ(光MEMS)

MEMSスキャナ(光MEMS)

MEMSスキャナは、MEMS(※)技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。

※MEMS:Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム

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MEMSスキャナ(光MEMS) 各種

※各種仕様がございますので、詳細はお問い合わせください。

周波数500 ~ 10,000Hz
ミラーΦ0.5 ~ Φ3mm
振り角0 ~ 60度

1次元MEMSスキャナミラー

1次元MEMSスキャナミラー

超小型のICチップ型の1次元MEMSスキャナミラー

(開発元:OPUS社)

スキャナ速度500Hz ±10%
ミラーサイズ2.5mm×3mm
ミラー材質アルミニウム
反射率>90%(=650nm@45°)
光スキャナ角度50°標準(55°最大)
最大駆動電圧50VACp-p単極
電力消費量<100mW
実用温度0~60℃
実用湿度10%~85%
パッケージサイズ10mm×10mm
パッケージPLCC48
仕様比較表
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2次元MEMSスキャナミラー

2次元MEMSスキャナミラー

8mm×8mmのICチップ型の2次元MEMSスキャナミラー

(開発元:OPUS社)

スキャン速度(高速軸)22kHz
スキャン速度(低速軸)1.4kHz
ミラープレートサイズφ1.0mm
光学スキャナ角度高速軸±20°/低速軸±18°
スキャナ波形 正弦波(高速軸、低速軸)
ジッタ精度0.1%以下
ミラー反射~89%(420nm~670nm)
ミラー精度<λ/8@635nm
実用温度0℃~70℃
実用湿度-40%~85%
音響ノイズ30dB以下
駆動方式静電方式
電力消費量40mW以下
パッケージサイズ6mmx8mm
パッケージPLCC
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ポリゴンスキャナ

ポリゴンスキャナ

多面体ミラーを回転してスキャン。デジタル複写機等のレーザー書き込み系に使用

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ポリゴンスキャナ

面数4~60面
回転数500~70,000rpm
面厚1~100mm
内接円10~150mm
振り角10~100度
ガルバノスキャナ

ガルバノスキャナ

1面ミラーを電磁力で回転させてレーザー光を走査するスキャン。レーザーマーキングや各種レーザー加工

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ガルバノスキャナ

周波数DC~1kHz
ミラーサイズ~Φ50mm
振り角0~120度
レゾナントスキャナ

レゾナントスキャナ

1面ミラーを共振させることによりレーザをスキャン。共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用

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レゾナントスキャナ

周波数100~8,000Hz
ミラーサイズΦ1~Φ20mm
振り角0~180度

LSU(レーザスキャンユニット)

LSU(レーザスキャンユニット)

オフセット印刷ダイレクト版下作成、液体内異物検出、シート汚れ、ピンホール検出、プラスチック分光分析、高速3次元計測、シート厚さ連続計測

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スキャンレンズ

スキャンレンズ

ビームスキャン用レンズ

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高精度計測、検査用 テレセントリックfθ 【ALT-ST01】

走査幅100mm
波長680nm
スポット径60μm

高精度計測、検査用 テレセントリックfθ 【ALT-ST20】

走査幅20mm
波長780nm
スポット径20μm

ガルバノスキャナ、レゾナントスキャナ用(高走査効率) アークサイン 【ALT-SA15】

走査幅150mm
波長830nm
スポット径60μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU01】

走査幅10mm
波長532nm
スポット径5μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU25】

走査幅254mm
波長670nm
スポット径200μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU33】

走査幅300mm
波長670nm
スポット径70μm

広域走査、微小スポット走査fθ 【ALT-SU61A】

走査幅500mm
波長780nm
スポット径40μm