スキャナデバイス検査
ポリゴンミラー検査システム
ポリゴンミラーの性能評価装置。面倒れ、面分割、反射率
ポリゴンミラー総合計測システム
| 面数 | 4～12面 |
|---|---|
| 面倒れ分解能 | 1秒以下 |
| 面分割分解能 | 1秒以下 |
| 反射率 | 波長780,635ｎｍ、P／S／R偏光 |
| 傷、汚れ | CCD画像センサ |
| 回転ステージ | 静圧エアーベアリング |
ポリゴンスキャナ検査システム
ポリゴンミラーの性能評価装置。面倒れ、面分割、反射率
ポリゴンスキャナ総合計測システム
| 測定回転数 | 50,000rpm以下 |
|---|---|
| 面数 | 4～12面 |
| 面倒れ測定範囲 | 3mm |
| 分解能 | 1秒以下 |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
| 電流測定 | 起動電流、定常電流 |
LSU検査システム
レーザスキャンユニットのジッタ、ウォブル、ビーム径、レーザパワーの検査装置
LSU総合計測システム
| 測定ビーム径 | 40～1000μｍ |
|---|---|
| 測定光出力 | 0.1～5ｍＷ |
| 測定回転数 | 50,000rpm以下 |
| ピッチエラー | 3ｍｍ |
| ジッタ測定 | 0.0001% |
f-θレンズ外観検査システム
f-θレンズの外観検査システムは傷、汚れ、異物、気泡、や成形上の脈理などの検査。
熟練工による目視検査を自動化。検査工程のコストダウンと検査品質の安定化。
f－θレンズ外観検査システム 【ALT-9A19】
| 検査対象 | 傷、異物、気泡、汚れ、脈理 |
|---|---|
| 対象f－θレンズ | A4用f－θレンズ（同等品） |
| 検査分解能 | 30μm |
| 最大検査範囲 | 115mm×4mm |
| 標準検査範囲 | 100mm×2mm（0.1mmピッチ） |
| 標準検査時間 | 約10秒 |
| 使用周囲温度 | 10～40℃ |
ビームアライメントシステム
レーザービーム位置及び方向をアライメントできます。現場での作業も可能。
ビームアライメントシステム 【ALT-9720】
| 測定範囲 | X、Y方向1.5mm |
|---|---|
| 測定分解能 | 0.3μm |
| 許容ビーム径 | 0.2～1.5mm |
| 測定波長 | 400～1000μm |
| 受光パワー | 0.05ｍW～50mW |
スキャナ応用製品検査評価システム
レーザースキャンデバイス応用製品の検査評価装置
TIA (Time Interval Analyzer)ユニット
分解能82psで16チャンネル（最大22ch）入力の任意に設定されたインターバル時間を連続100万回測定
TIAユニット 【ALT-9C15】
| 測定分解能 | 81ps |
|---|---|
| 内部ジッタ | 300ps以下 |
| 測定範囲 | 30ns～655ms |
| 最少パルス幅 | 30ns |
| 最大計測データ数 | 1,048,576データ |
ビームディテクトユニット
スキャンビームのタイミング検出センサユニット
| センサ | 2分割フォトIC |
|---|---|
| 受光エリア | 2.4ｍｍ |
| 出力 | 正論理 50オームドライバ BNC端子 |
| 受光パワー | 1mW±50% |
| 電源 | DC5V 100mA以下 |
| センサ移動範囲 | ±5ｍｍ |