明日を拓く光MEMSスキャナ
ISO9001
受注プロセス

MEMSスキャナ検査

光MEMSスキャナ検査システム

光MEMSスキャナ検査システム

光MEMSデバイス単体の性能評価装置、振り角、共振周波数、ジッタ、ウォブル

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MEMSスキャナ計測システム 【ALT-9A44】

駆動周波数100Hz~10kHz
ミラーサイズ1.2×1.2mm以上
測定ビーム速度4000mm/s以下
ウォブル測定範囲30分
ジッタ測定0.0001%
他測定最大振角、共振周波数、温度

光MEMSデバイス耐久試験システム

光MEMSデバイス長時間動作による性能変化の計測、1台から数十台の耐久試験対応可能。

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光MEMSデバイス耐久試験システム

対象MEMS主軸共振40kHz、副軸非共振60Hz
振り角測定範囲±6~±30°(光学角)主軸、副軸
振り角分解能0.2度以下
駆動周波数分解能0.1Hz
駆動電圧分解能0.1V
光MEMSデバイス環境試験システム

光MEMSデバイス環境試験システム

光MEMSデバイスの周囲温度変動による性能変化の計測、-40℃~150℃対応可能

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光MEMSデバイス耐久試験システム

温度-40℃~100℃
結露防止窒素ガス封入簡易チャンバー
温調カスケード接続ペルチェ素子、チーラー
バーイン室温~200°
制御ヒータPID制御
圧力10~100Pa
構成小型チャンバー、真空ポンプ

光MEMS2次元スキャンユニット検査システム

スキャンデバイスの応用ユニットの検査システム、光MEMSミラー、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、その他

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光MEMS2次元スキャンユニット検査システム

ビーム径0.1~3mm 分解能5μm
ポインタビリティ0.1~3mm 分解能5μm
レーザパワー、諧調1~100mW 分解能0.1mW
画像サイズ、歪み分解能5μm
スキャン周波数0.0001%
他測定主軸1~50KHz、副軸10~100Hz

MEMS装着調整システム

ピコプロジェクタエンジンにおけるMEMSデバイスの調整組立装置

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MEMS装着調整システム

調整範囲光学角±6~30度 分解能0.1度以下
基準レーザALT-3310相当
MEMS調整手動/自動
接着ディスペンサー、UV光源

RGB合波調整システム

ピコプロジェクタエンジンにおけるRGB合波ユニットの調整組立装置

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RGB合波調整システム

ビーム径20~200μm 分解能5μm
ビーム位置±3.8mm 分解能5μm
基準レーザALT-3310相当
コリメータ調整手動/自動
接着ディスペンサー、UV光源

スキャナ応用製品検査評価システム

レーザースキャンデバイス応用製品の検査評価装置

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色彩、輝度評価システム

レーザー応用ユニットにおける簡易型色彩、輝度評価装置

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色彩、輝度評価システム

輝度Y0.05~500,000cd/㎡
色度xyCIE1931等色関数に近似
コントラスト10,000,000以上
最大サンプリング18KHz
精度0.20%

スペックル評価システム(開発中)

レーザー応用ユニットにおける簡易型スペックル評価装置

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